Dispositifs et instrumentation pour l'analyse et la préparation de surfaces
Porte-échantillons et manipulateurs multi-axes

Porte-échantillons standard (50mm-150mm)
Translation linéaire 0-50 mm
Rotation continue (tpm) 2-20; 20-60 et 20-80
Elément chauffant graphite-SiC: 300K-1070K
Polarisation DC/RF (2kV/300W max.)
Obturateur (manuel/automatique)

Manipulateur HV 3-axes (X,Y,Θ)
Translation Motorisée
Plateau 150mmx150mm (± 0.001 mm)
120K-870K et polarisation 15 kV

Manipulateur UHV 4-axes (X,Y,Z,Θ)
Echantillons Plaquettes Omicron
120K-1600K

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