Dispositifs et instrumentation pour l'analyse et la préparation de surfaces
Enceintes UHV

Enceinte verticale UHV
Ø 300mm
Analyse de spectroscopie UPS

Enceinte horizontale UHV
Ø 200mm
Analyse de spectroscopie XPS

Enceinte verticale UHV
Ø 100mm
Parois refroidies (eau)
Recuits (1270 K) d'échantillons sous air et vide

Enceinte verticale UHV
Ø 200mm
Châssis acier inoxydable
Analyse par microscopie(STM)


Tube de transfert UHV
Ø 140mm

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