Dispositifs et instrumentation pour l'analyse et la préparation de surfaces
Evaporateurs par bombardement électronique série EFM


EFM 2
Ø évaporation 4-20 mm

EFM 3
Ø évaporation 4-20 mm obturateur et microbalance intégrés


EFM 4
Ø évaporation 10-50 mm


EFM 6
Ø évaporation >50 mm


EFM 3s avec supression d'ions


EFM 3i 4-20 assisté par faisceau d'ions


EFM-H pour évaporation d'atomes d"hydrogène


Triple-évaporateur EFM 3T sans ou avec suppression d'ions (3Ts)

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