Dispositifs et instrumentation pour l'analyse et la préparation de
surfaces
INSTRUMENTATION
MECANIQUE HV/UHV
SYSTEMES HV/UHV
Conception, fabrication, installation et mise en service de systèmes à vide et Ultra-Vide sur-mesure
- Systèmes vide et ultra-vide
- Enceintes à vide (Ø 100 mm à Ø 800 mm)
- Manipulateurs (jusqu'à 5 axes/120K-1200K/Polarisables)
- Composants (Tables de translation X,Y,Z/Orienteurs/Entretoises/Soufflets anti-vibratoiresS/Mesureurs d'épaisseurs)
Distribution de dispositifs et d'instruments pour la préparation et l'analyse de surfaces
- Distributeur de FOCUS (Evaporateurs e-Beam/Sources ioniques/Sources VUV/Détecteur de spin/Stations de microsoudures et de modification de surfaces sous ultra-vide par faisceaux d'électrons et laser)
- Distributeur de MANTIS (Systèmes de dépôts de couches minces/Evaporateurs résistifs et e-Beam/Sources magnétrons et plasma/Cracker de gaz/Sources ioniques/Sas d'introduction/Electroniques/Automate)
- Distributeur de BIHURCRYSTAL (Echantillons de surfaces vicinales multi-domaines/Cellule d'injection liquide sous vide)
- Distributeur AML (Mesure du vide/Moteurs pas-à-pas UHV/Mécanismes de motorisation sous vide)
- Distributeur NANOMAGNETICS INSTRUMENT (Microscopes AFM et STM/Systèmes de mesure par effet Hall)
- Distributeur μMash (Pointes AFM)
- Distributeur de MINUSK (Tables anti-vibratoires)